SEMI E134.1-2009 标准详情
- 标准号：SEMI E134.1-2009
- 中文标题：
- 英文标题：Specification For Soap Binding Of Data Collection Management (dcm)
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E134.1-2009
内容简介
Specifies an implementation mapping of the SEMI E134 specification for Data Collection Management to the SOAP 1.1 protocol. Also provides a description of the XML Schema data types used to support the UML classes defined in SEMI E134, and also descri
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