SEMI E5-2009 标准详情
- 标准号：SEMI E5-2009
- 中文标题：
- 英文标题：Semi Equipment Communications Standard 2 Message Content (secs-2)
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E5-2009
内容简介
Describes the details of the interpretation of messages exchanged between intelligent equipment and a host. This specification has been developed in cooperation with the Japan Electronic Industry Development Association Committee 12 on Equipment Comm
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