JEDEC JESD35-A-2001 标准详情
- 标准号：JEDEC JESD35-A-2001
- 中文标题：薄电介质的Wafer-Level测试程序
- 英文标题：procedure for the wafer-level testing of thin dielectrics
- 标准类别：电子元件工业联合会标准JEDEC
- 发布日期：2001-04-01
JEDEC JESD35-A-2001 薄电介质的Wafer-Level测试程序
内容简介
The thin dielectric integrity of MOS devices and circuits is an important reliability concern.Historically, thin oxide reliability has been driven by oxide defects. In general the intrinsic oxidelifetime is much longer than the use requirements, but
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