SEMI C3.58-2003 标准详情
- 标准号：SEMI C3.58-2003
- 中文标题：规范八氟环丁烷， C [ 4 ] F [ 8 ] ，电子级钢瓶
- 英文标题：Specification For Octafluorocyclobutane, C[4]f[8], Electronic Grade In Cylinders
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C3.58-2003 规范八氟环丁烷， C [ 4 ] F [ 8 ] ，电子级钢瓶
内容简介
Provides the specification for Octafluorocyclobutane, also known as perfluorocyclobutane, as a non-flammable, non-toxic, colorless and odorless gas which is stable under normal conditions.
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