SEMI E69-1998 标准详情
- 标准号:SEMI E69-1998
- 中文标题:
- 英文标题:Test Method For Determining Reproducibility And Zero Drift For Thermal Mass Flow Controllers
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:
Gives a standardized method to quantify the reproducibility and zero drift of a thermal mass flow controller (MFC).
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