SEMI E21-1994 标准详情
- 标准号:SEMI E21-1994
- 中文标题:
- 英文标题:Cluster Tool Module Interface: Mechanical Interface And Wafer Transport Standard
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:
Simplifies cluster tool implementation in the fab. Equipment suppliers are required to provide modules that can be connected into any cluster tool using the specifications contained herein.
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