SEMI MF1529-2004 标准详情
- 标准号：SEMI MF1529-2004
- 中文标题：
- 英文标题：Test Method For Sheet Resistance Uniformity Evaluation By In-line Four-point Probe With The Dual-configuration Procedure
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI MF1529-2004
内容简介
Describes the direct measurement of the sheet resistance and its variation for all but the periphery (amounting to three probe separations) for circular conducting layers pertinent to silicon semiconductor technology.
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。仅供个人标准化学习，研究使用。如有侵权，请及时联系我们！
- 标准质量：
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
② 仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
③ 代购正版，联系：