SEMI S24-2006 标准详情
- 标准号：SEMI S24-2006
- 中文标题：
- 英文标题：Safety Guideline For Multi-employer Work Areas
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI S24-2006
内容简介
Provides methods to establish safe working environment where personnel of different companies (entities) share a work area in a fab or where work by employees of one company in one area may comprise a hazard to employees of another company in an adja
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