SEMI MF2166-2004 标准详情
- 标准号：SEMI MF2166-2004
- 中文标题：
- 英文标题：Practices For Monitoring Non-contact Dielectric Characterization Systems Through Use Of Special Reference Wafers
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI MF2166-2004
内容简介
Gives procedures for testing these systems with the use of special reference wafers with specified characteristics. The procedures in these practices are designed to ensure that the NCDCS being evaluated provides reliable data for selected device-rel
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