SEMI E92-2002 标准详情
- 标准号：SEMI E92-2002
- 中文标题：规格为300毫米重量轻，结构紧凑盒开瓶器/加载器工具的互操作性标准（螺栓/光）
- 英文标题：Specification For 300 Mm Light Weight And Compact Box Opener/loader To Tool-interoperability Standard (bolts/light)
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E92-2002 规格为300毫米重量轻，结构紧凑盒开瓶器/加载器工具的互操作性标准（螺栓/光）
内容简介
Specifies standard specifications such as interfaces between the component that opens the boxes and presents the boxes to the equipment wafer handler for unloading and loading 300 mm wafers (BOLTS/Light unit) and higher level part of equipment and it
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