SEMI C2-3-1995 标准详情
- 标准号：SEMI C2-3-1995
- 中文标题：标准对于磷酸腐蚀剂
- 英文标题：Standard For Phosphoric Etchants
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C2-3-1995 标准对于磷酸腐蚀剂
内容简介
Specific to Phosphoric Etchants. In this publication, the Committee establishes definitions for three major types of etchant mixtures; buffer oxide etchants, mixed acid etchants, and phosphoric etchants. Analytical procedures and specifications are i
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