SEMI M42-2000 标准详情
- 标准号：SEMI M42-2000
- 中文标题：
- 英文标题：Specification For Compound Semiconductor Epitaxial Wafers
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI M42-2000
内容简介
Covers the requirements for epitaxial layers of the generic composition AaBbCc...Nn grown on monocrystalline wafers of GaAs or InP (other substrates may be considered where appropriate documents exist to describe the specification of the substrate).
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