SEMI MF397-2006 标准详情
- 标准号：SEMI MF397-2006
- 中文标题：
- 英文标题：Test Method For Resistivity Of Silicon Bars Using A Two-point Probe
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI MF397-2006
内容简介
Covers the measurement of the resistivity of single-crystal bars having cross sections that are uniform in area and square, rectangular or round in shape, and having resistivity between 0.0009 and 3000 cm.
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