SEMI E15-1-2005 标准详情
- 标准号：SEMI E15-1-2005
- 中文标题：
- 英文标题：Specification For 300 Mm Tool Load Port
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E15-1-2005
内容简介
Describes dimensional requirements for the load ports of 300 mm wafer process and inspection equipment.
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。仅供个人标准化学习，研究使用。如有侵权，请及时联系我们！
- 标准质量：
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
② 仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
③ 代购正版，联系：