SEMI E21.1-1992 标准详情
- 标准号：SEMI E21.1-1992
- 中文标题：集群工具模块接口300毫米：机械接口和晶圆传输标准
- 英文标题：Cluster tool module interface 300mm:mechanical interface and wafer transport standard
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：1992
SEMI E21.1-1992 集群工具模块接口300毫米：机械接口和晶圆传输标准
内容简介
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