SEMI E28-1992 标准详情
- 标准号：SEMI E28-1992
- 中文标题：指引，质量流量控制器的压力规格
- 英文标题：Guideline for pressure specifications of the mass flow controller
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：1992
SEMI E28-1992 指引，质量流量控制器的压力规格
内容简介
Lays down a uniform, worldwide means to describe pressure parameters as they relate to mass flow controllers. Also intended to prevent confusion and misunderstanding between manufacturers and users. Also comprises definitions of terms which describe
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