SEMI E139.1-2006 标准详情
- 标准号：SEMI E139.1-2006
- 中文标题：
- 英文标题：Xml Schema For The Rap Pde
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E139.1-2006
内容简介
Describes an XML-based format for transferring recipecomponents. Includes an XML schema that corresponds to the UML model for the RaP Process Definition Element (PDE) as defined by SEMI E139.
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