SEMI C8-5-1998 标准详情
- 标准号：SEMI C8-5-1998
- 中文标题：标准的过氧化氢， 3级
- 英文标题：Standard For Hydrogen Peroxide, Grade 3
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C8-5-1998 标准的过氧化氢， 3级
内容简介
Intended to establish the general procedures, specifications, definitions, and analytical procedures for hydrogen peroxide, Grade 3. Products within all of the requirements can be described as "meeting SEMI specifications." Where analytical procedu
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