SEMI C3.57-2000 标准详情
- 标准号：SEMI C3.57-2000
- 中文标题：规范二氧化碳的Cp [ 2 ] ，电子级钢瓶
- 英文标题：Specification For Carbon Dioxide, Cp[2], Electronic Grade In Cylinders
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C3.57-2000 规范二氧化碳的Cp [ 2 ] ，电子级钢瓶
内容简介
Provides specification for properties of carbon dioxide as a non-flammable, colorless, odorless, slightly acidic gas which is stable under normal conditions.
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