SEMI M41-2007 标准详情
- 标准号：SEMI M41-2007
- 中文标题：
- 英文标题：Specification Of Silicon-on-insulator (soi) For Power Device/ics
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI M41-2007
内容简介
Covers requirements for silicon-on-insulator (SOI) for semiconductor power-device/IC manufacture. Also provides requirements of SOI wafers, which are used for power devices/ICs of specific voltage applications.
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