ASTM F673-1989 标准详情
- 标准号：ASTM F673-1989
- 中文标题：标准测试方法用于测量半导体片或半导体膜的薄层电阻的电阻率与非接触式涡流计
- 英文标题：standard test method for measuring resistivity of semiconductor slices or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gage
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
