SEMI F78-2004 标准详情
- 标准号：SEMI F78-2004
- 中文标题：
- 英文标题：Practice For Gas Tungsten Arc (gta) Welding Of Fluid Distribution Systems In Semiconductor Manufacturing Applications
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI F78-2004
内容简介
Specifies procedures for welding stainless steels and other corrosion resistant metals and alloys (CRAs) for fluid (liquid or gas) distribution systems in semiconductor manufacturing applications. Welds performed following these procedures are of suf
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