SEMI F42-2000 标准详情
- 标准号：SEMI F42-2000
- 中文标题：
- 英文标题：Test Method For Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI F42-2000
内容简介
Describes the test method used to characterize the susceptibility of semiconductor processing, metrology, and automated test equipment to voltage sags. Also describes the testing procedures and test equipment required to characterize the susceptibili
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